檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "徐世祥".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="矽"
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現今消費市場對光電積體電路(OEICs)的需求日益增加,以及尺寸微縮和成本縮減考量下,高響應度(放大訊號能力)及高速性能的光檢測器製造技術是必需的。 並且現今多晶矽在物性以及製作技術上都有顯著的進步…
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本論文以直流磁控式濺鍍法實現矽/鍺膜同/異質磊晶,成功地在矽基板上達成矽膜和鍺膜的同異質磊晶成長,以及在鍺基板上之鍺膜同質磊晶。最後並以濺鍍磊晶成長矽膜於矽基板上之方式形成n+-p接面二極體元件。論…